海力士试用新材料生产DRAM [复制链接]

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随着DRAM技术的不断进步,SK海力士和三星电子等公司正在积极开发新材料的应用。据TheElec报道,SK海力士计划在其第6代(1c工艺,约10nm)DRAM生产中使用Inpria新一代金属氧化物光刻胶(MOR),这将是MOR首次应用于DRAM量产工艺。
消息人士透露,SK海力士生产的1c DRAM上有五个极紫外(EUV)层,其中一层将使用MOR进行绘制。他还补充说,“不仅SK海力士,三星电子也将寻求这种无机PR材料。”
公开资料显示,Inpria是日本化学公司JSR的子公司,在无机光刻胶领域具有领导地位。而MOR被认为是目前用于先进芯片光刻的化学放大光刻胶(CAR)的下一代产品。
据了解,该公司自2022年以来一直与SK海力士合作进行MOR研究。SK海力士此前表示,使用Sn(基)氧化物光刻胶将有助于提高下一代DRAM的性能并降低成本。
此外,《TheElec》还指出,三星电子也在考虑将MOR应用于1c DRAM。目前,三星电子在1c DRAM上应用了6至7个EUV层,而美光则只应用了1层。
这一发展趋势表明,在DRAM小尺寸化、高性能和低成本的要求下,厂商正积极寻求新的材料和技术来提升产品的竞争力。
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